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真空環(huán)境測(cè)試真空加熱腔主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電化學(xué)信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體可擴(kuò)展模塊較多，該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口和4-8芯信號(hào)真空電極及真空計(jì)接口，腔體上部安裝有φ80石英觀察片方便觀察樣品和光學(xué)用途。

該液氮實(shí)驗(yàn)室真空探針臺(tái)的承載臺(tái)為60x60不銹鋼臺(tái)面，臺(tái)面可升溫到350℃ 低溫-130°。

四探針測(cè)試臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本

真空高低溫光電器件測(cè)試探針臺(tái).測(cè)試腔：同時(shí)滿足靜態(tài)/動(dòng)態(tài)測(cè)試，304不銹鋼材質(zhì)，可在紫外燈下保證氣密性測(cè)試； 測(cè)試樣品數(shù)：同時(shí)測(cè)試8個(gè)樣品，可進(jìn)行頻率-阻抗測(cè)試、插指電極和場(chǎng)效應(yīng)管測(cè)試；

光學(xué)環(huán)境真空微腔探針臺(tái) 測(cè)試腔：同時(shí)滿足靜態(tài)/動(dòng)態(tài)測(cè)試，304不銹鋼材質(zhì)，可在紫外燈下保證氣密性測(cè)試； 測(cè)試樣品數(shù)：同時(shí)測(cè)試8個(gè)樣品，可進(jìn)行頻率-阻抗測(cè)試、插指電極和場(chǎng)效應(yīng)管測(cè)試；